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ZEISS掃描電子顯微鏡常見成像故障排查與參數(shù)修正技術指南

ZEISS掃描電子顯微鏡(SEM)憑借高分辨率、高放大倍率的優(yōu)勢,廣泛應用于材料科學、生命科學等領域,其成像質量直接決定檢測分析結果的準確性。在長期實操中,成像模糊、噪點過多、亮度異常等故障頻發(fā),多由參數(shù)設置不合理、樣品制備不當或設備部件輕微異常導致。本文結合ZEISSSEM(Sigma系列、EVO10等主流機型)的結構特點,梳理常見成像故障的排查思路與精準參數(shù)修正技術,助力操作人員快速解決問題、提升檢測效率。一、常見成像故障排查要點ZEISSSEM成像故障排查需遵循“由簡到...

  • 2023

    12-20

    先前蔡司君介紹過第三代半導體晶圓位錯檢測和第三代半導體功率器件工藝分析的案例,各種顯微成像技術在晶圓缺陷密度統(tǒng)計和器件失效分析中發(fā)揮著重要作用。此外,襯底晶圓尺寸也是業(yè)界非常重視的一個方向,國際主流SiC廠商已經(jīng)進入了8英寸時代,國內企業(yè)也在緊追不舍。由于化合物半導體晶圓成本相對較高,在不破壞整片晶圓的前提下使用電鏡完成常規(guī)檢測甚至失效分析能夠降低分析成本并提高檢測效率,因此是很多廠商尋求的方案。▲碳化硅襯底研發(fā)進展,圖片來源:Yole今天我們將給大家介紹蔡司的電鏡解決方案如...

  • 2023

    12-15

    在當今高度信息化的社會,半導體技術已經(jīng)成為支撐整個電子信息產業(yè)的重要基石。而在半導體技術中,對微電子元件的結構和性能進行深入理解和分析,是提高半導體設備性能的關鍵。為此,需要借助一種強大的工具——半導體專用顯微鏡。半導體專用顯微鏡是一種高精度的光學儀器,能夠將微電子元件的結構和性能以極其直觀的方式展現(xiàn)出來。通過對顯微鏡下的圖像進行深入解析,可以了解到微電子元件的制造工藝、材料特性、結構組成以及潛在的缺陷等信息。1、從微電子元件的結構談起。在顯微鏡下,可以看到元件的精細結構,包...

  • 2023

    12-6

    蔡司3D顯微鏡操作指南及圖像處理技巧一、操作指南1.開機與校準打開蔡司3D顯微鏡的電源,進行預熱。然后進行校準,確保顯微鏡處于較佳狀態(tài)。校準過程中,需根據(jù)提示進行焦距和光路的調整。2.樣本準備樣本需要放置在專用的載玻片上,并確保清潔。載玻片應置于顯微鏡載物臺上。3.觀察與聚焦選擇合適的觀察模式,如明場、暗場或熒光等。然后,通過調節(jié)焦距和光源強度,使樣本清晰可見。對于3D成像,需要調整Z軸的掃描速度和精度。4.圖像獲取調整好觀察條件后,可以開始獲取圖像。支持實時捕獲和存儲圖像。...

  • 2023

    11-25

    體視顯微鏡的工作原理是利用光學原理,通過透鏡將物體放大,使其能夠被肉眼所觀察。體視顯微鏡的主要部分包括鏡頭、光源、鏡頭支架、樣品臺和目鏡。當光線通過透鏡時,會發(fā)生折射,使光線的方向發(fā)生改變。透鏡的形狀和曲率決定了光線的折射程度,從而影響了物體的放大倍數(shù)。當光線從樣品反射回來時,它會通過目鏡進入眼睛,使我們能夠觀察到樣品的細節(jié)。體視顯微鏡實質上是兩個單鏡筒顯微鏡并列放置,兩個鏡筒的光軸構成相當于人們用雙目觀察一個物體時所形成的視角,以此形成三維空間的立體視覺圖像。體視顯微鏡的調...

  • 2023

    11-16

    先進封裝技術給半導體行業(yè)帶來了變革,市場對更小、更快、更低能耗、更大算力的電子設備的需求驅動了近年來先進封裝的快速發(fā)展,它追求結構的進一步微型化、更高集成度、更多功能性,以及更好的散熱控制。然而,這些先進性也給失效分析帶來了新的挑戰(zhàn)。失效分析在識別和理解先進封裝失效的根本原因中發(fā)揮了重要作用,這使廠商可采取適當?shù)母倪M措施以改善生產工藝、設計優(yōu)化、材料選擇,對提升良率、可靠性和產品性能非常關鍵。失效分析同時也可優(yōu)化測試和生產流程,減少返工和報廢,對成本減低做出重要貢獻。▲當前先...

  • 2023

    11-12

    蔡司體視顯微鏡是一種高級顯微鏡,常用于生物學、醫(yī)學、材料科學等領域的研究和實驗。具有高質量的成像效果,能夠提供高清晰度、高對比度的圖像,幫助研究人員更好地觀察和分析樣本。蔡司體視顯微鏡的構造和原理比較復雜,但可以簡單理解為通過光學系統(tǒng)將樣本放大,然后通過目鏡或攝像頭將圖像顯示在屏幕上或拍攝下來。光學系統(tǒng)采用了多種高級技術,如消色差技術、復消色差技術、軸向色差補償?shù)龋軌蛴行У叵詈褪д妫岣邎D像的清晰度和對比度。該顯微鏡的使用需要一定的技巧和經(jīng)驗,使用者需要根據(jù)不同的樣本...

  • 2023

    11-7

    電池模組的質量解決方案對電池樣品進行掃描和評估時應防止它們暴露于空氣中,高質量的顯微鏡解決方案必須能夠生成材料微觀結構的詳細可視化信息,從而準確了解電池失效的可能性。針對雜質顆粒進行檢測對于防止污染而言也至關重要。成品電池電芯和模組進行無損檢測具有挑戰(zhàn)性,因為只有穿透強度足夠高的X射線技術才能清楚快速地檢測到內部缺陷。針對電池開發(fā)和生產的所有不同階段都可以依賴一套強大的質量保證解決方案。ZEISSVoluMax9titan具有強大的穿透力,不會忽略成品模組組件缺陷。從原料到成...

  • 2023

    11-7

    (圖源自蔡司)渦輪葉片制造是航空航天領域具有挑戰(zhàn)性的工藝之一,對于葉片能夠承受惡劣的高溫環(huán)境和苛刻的發(fā)動機循環(huán)來說是必要的。此外,飛機發(fā)動機制造商必須能夠證明遵守嚴格的質量法規(guī),以確保這些葉片不會出現(xiàn)故障。(圖源自網(wǎng)絡)蔡司工業(yè)質量解決方案部X射線產品銷售經(jīng)理BenediktKrist表示:“如今,渦輪葉片制造是一個復雜的過程,其中包含許多手動流程步驟。發(fā)動機中有數(shù)百個葉片,計算機斷層掃描[CT]具有巨大的潛力,可以節(jié)省生產時間和成本,同時減少浪費。”渦輪葉片的鑄造涉及幾個步...

  • 2023

    11-6

    蔡司金相顯微鏡采用了光學技術和計算機技術,能夠將觀察對象的細節(jié)和特征以較高的分辨率呈現(xiàn)出來,同時還具有出色的穩(wěn)定性和耐用性。無論是在科研實驗室、工業(yè)生產現(xiàn)場還是醫(yī)學診斷室,都能夠提供可靠的觀察和分析結果。蔡司金相顯微鏡主要用于金相顯微學領域的材料分析和金屬組織觀察。它具有以下優(yōu)點:1.高分辨率和清晰度:采用優(yōu)質的光學系統(tǒng),配備高性能的物鏡和眼鏡,能夠提供高分辨率和清晰度的圖像,使用戶能夠觀察到細微的結構和細節(jié)。2.耐用性和穩(wěn)定性:采用堅固的結構設計和高品質的材料制造,具有良好...

  • 2023

    10-30

    共聚焦顯微鏡是一種光學成像技術,它通過使用空間針孔來阻擋散焦光,以提高顯微圖像的光學分辨率和對比度。它主要用于各種類型的樣品表面層的光學特性進行微觀成像,如材料、生物醫(yī)學、物理化學等領域。可以對樣品表面進行高精度的測量,包括表面粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓等參數(shù),常用于材料科學、生物醫(yī)學等領域。共聚焦顯微鏡的結構分析:1.激光器:共聚焦顯微鏡使用激光器作為光源,通常使用氬離子激光器或鈦寶石激光器。激光器產生的光束經(jīng)過準直器和偏振器后,進入掃描頭。2.掃描頭:掃描頭是共聚焦顯微...

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